仪器型号

VTM-1510

VTM-1510G

VTM-1510F

VTM-2010

VTM-2010G

VTM-2010F

VTM-2515

VTM-2515G

VTM-2515F

VTM-3020

VTM-3020F

TVM—3020G

工
作
台

金属台尺寸(mm)

354×228

404×228

450×280

500×330

玻璃台尺寸(mm)

210×160

260×160

306×196

350×280

运动行程(mm)

150×100

200×100

250×150

300×200

Z轴调焦升降行程

150mm

150

200

200

X、Y、Z数显解析度

0.05μm

X.Y坐标示值误差

≤(3+L/75)μm(L为被测长度，单位:mm)  

仪器重量（kg）

100

110

120

140

外型尺寸（长x宽x高）mm

540×667×850

800×675×920

目视
系统

物镜放大倍数

1×、3×(标配)、5×

目镜放大倍数

10×(单、双目同)(选)、

总放大倍数

10×～50×

物镜放大倍率误差

包括畸变在内的放大率误差≤0.08%

影象
系统

G型影象系统

国产CCD摄像机   M2D-IMG软件

F型影象系统

SONY彩色1/2″CCD摄像机  M2D-AT软件

电源

透射照明光源

24V20W卤素灯钨灯

反射照明光源

12V LED环行灯及带激光点反射照明