产品简介
FDYM大小尺寸硅片抛光机,深圳硅片研磨机厂家
FDYM大小尺寸硅片抛光机,深圳硅片研磨机厂家
产品价格:¥0
上架日期:2011-12-09 21:52:29
产地:深圳
发货地:深圳
供应数量:不限
最少起订:1台
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详细说明

    硅片抛光机是高科技产品,能对超薄超大尺寸的硅片进行研磨抛光加工。平面度最高可达0.2u,光洁度最高可达0.2。高质量高效率一直是此款机器的最大卖点。售后服务完善,有专业的技术指导。试样请咨询:www.szfangda.cn

    工作原理:

        本系列硅片抛光机由四个吸附盘吸附硅片与抛光盘做逆时针旋转来达到抛光的目的。

    特点:

        1.本系列抛光机的吸附盘由四台单独的电机驱动、速度与压力可调。

        2.控制系统中采用PLC彩色终端等先进技术,系统的响应速度更快、更精确,并具有远程监控,远程维护的功能;

        3.本系列抛光机运行平稳,抛光后的产品厚度公差可控制在正负0.002mm范围内,粗糙度可达到0.0005mm

    设备规格:

    型号

    YM-18A 

     YM-24A

     YM-36A

    YM-48A 

    抛光盘规格

    φ460*φ140

    φ610*φ200

    φ910*φ300 

    φ1220*φ400 

    最大抛光尺寸

    φ150mm

    φ200mm

    φ300mm 

    φ450mm 

    抛光后平面度 

    ±0.5u以内

    ±0.7u以内

    ±1u以内 

    ±1u以内 

    工件平行度(25mm

    ±1u以内 

    ±1.5u以内

    ±2u以内 

    ±2u以内 

    工件粗糙度 

    0.4nm以内 

    0.4nm以内

    0.4nm以内 

    0.4nm以内 

    抛光盘电机功率 

    2.2kw 3380V

    3.7kw  3380V

    7.7kw  3380V 

    11kw  3380V 

    抛光盘转速 

    0~120rpm 

    0~100rpm

    0~80rpm 

    0~60rpm 

    外形尺寸 

    700*1100*1100mm

    950*1200*2200mm

    1200*1400*2300mm

    1500*1700*2400mm

    重量 

    960kg 

    1800kg 

    2600kg 

    4500kg 


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