氧气浓度计半导体、液晶、电子零部件相关应用

測定原理			ジルコニア濃淡電池式
形状			分離型（変換器：壁掛式、センサ：直挿式）
表示方式			デジタル4桁表示(濃度表示)
測定レンジ			0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20～10-0atm 自動レンジ
繰返性			±0.5%FS以内 0-1%レンジ以上 ±1%FS以内または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満 0-1ppm,atmレンジは濃度保証範囲外
測定点数			1～8
サンプルガス条件	圧力		10-3～200KPa（絶対圧）
	流量		0.5～5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散状態の測定)
	湿度		露点が周囲温度以下
	温度		0～100℃
	その他		腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと
比較ガス			大気
記録計出力			伝送出力のみ
伝送出力			RS-232C
警報出力			なし
ウォームアップ時間			6分以内
寸法	MS-500(コントローラ)		92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず)
	MS-510(変換機)		100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず)
	センサユニット	SD16NW	全長100mm(センシング部Φ11×39,胴体部Φ40×51)
		SD25NW	全長100mm(センシング部Φ11×42,胴体部Φ40×48)
		SD40NW	全長100mm(センシング部Φ11×41,胴体部Φ40×49)
質量	MS-500(コントローラ)		約0.6Kg
	MS-510(変換器)		約0.5kｇ
	センサユニット	SD16NW	約0.2Kg
		SD25NW	約0.2Kg
		SD40NW	約0.35Kg
外部接続			真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか
使用電源			24VDC±10%

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