产品简介
详细说明
海德汉专利的光刻镀铬技术，最小信号周期0.128微米；
最高精度等级0.5微米/米；
基体可选玻璃、玻璃陶瓷及钢质，通过基体选择热膨胀系数，玻璃陶瓷热膨胀系数接近零自由膨胀、拉伸、背贴等多种安装方式，适用于不同应用场合；
海德汉光栅采用成像扫描与干涉扫描原理，后者用于8～0.128微米栅距，信号误差小于1%，消除高频谐波，进行高倍细分，最高分辨率1纳米，可用于高速场合；
海德汉光栅采用大面积扫描场单场扫描方式，大大降低对油污的敏感性，超级坚硬的光栅尺因高刻线度，灰尘、污物或水滴难以留在其表面，使得光栅尺有着很高的抗污染能力；
海德汉与超出同类产品的优势：海德汉关于干涉扫描、创新的扫描掩膜技术及成像扫描原理的应用，使得光栅的安装有较大的安装公差；
海德汉采用增量信号1Vpp或TTL输出形式，最大电缆长度30米；
海德汉光栅的工作环境要求：标准工作温度（鉴定温度）20℃，可工作温度0～50℃，储存温度-20～70℃；
海德汉光栅尺的应用：适用于半导体工业的测量和生产设备、PCB电路板组装机、超精密机床、高精度机床、测量机和比较仪、测量显微镜和其他精密测量设备、直接驱动等
最高精度等级0.5微米/米；
基体可选玻璃、玻璃陶瓷及钢质，通过基体选择热膨胀系数，玻璃陶瓷热膨胀系数接近零自由膨胀、拉伸、背贴等多种安装方式，适用于不同应用场合；
海德汉光栅采用成像扫描与干涉扫描原理，后者用于8～0.128微米栅距，信号误差小于1%，消除高频谐波，进行高倍细分，最高分辨率1纳米，可用于高速场合；
海德汉光栅采用大面积扫描场单场扫描方式，大大降低对油污的敏感性，超级坚硬的光栅尺因高刻线度，灰尘、污物或水滴难以留在其表面，使得光栅尺有着很高的抗污染能力；
海德汉与超出同类产品的优势：海德汉关于干涉扫描、创新的扫描掩膜技术及成像扫描原理的应用，使得光栅的安装有较大的安装公差；
海德汉采用增量信号1Vpp或TTL输出形式，最大电缆长度30米；
海德汉光栅的工作环境要求：标准工作温度（鉴定温度）20℃，可工作温度0～50℃，储存温度-20～70℃；
海德汉光栅尺的应用：适用于半导体工业的测量和生产设备、PCB电路板组装机、超精密机床、高精度机床、测量机和比较仪、测量显微镜和其他精密测量设备、直接驱动等
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- 839-007173-1(LOT OF 3) / WELDMENT
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- 715-330984-001 / GAS INJECTION RING
- Lam Research 810-073479-306 JTS
- Lam Research 796-901160-217 Rev B
- 716-030135-001 / FOCUS
- LAM Research 839-020964-003
- LAM Research 715-031752-206
- LAM INSULATOR RING 716-084752-228
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- Lam Research 853-012350-002-LL FDR
- 715-108766-001 / LINER, FILLER
- LAM RESEARCH 716-011922-001
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