规格型号 |
SYS50A / SYS50B |
激光波长 |
1.064μm |
划片精度 |
±10μm |
划片线宽 |
≤50μm |
激光重复频率 |
200Hz~50kHz |
最大划片速度 |
120mm/s |
激光功率 |
50W |
工作台幅面 |
350mm×350mm |
使用电源 |
380V(220V)/ 50Hz/ 5KVA |
冷却方式 |
分体外挂式(或一体化)恒温循环水冷 |
工作台 |
双气仓负压吸附,T型台双工作位交替工作 |