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静电夹持卡盘，品牌：ECM，型号：E-Chucks

详情介绍

品牌：ECM

型号：E-Chucks

ECM是一个拥有30多年成功的技术公司。公司具有一支创新型PVD，CVD，热/室温/低温，离子注入，刻蚀等检测队伍。依靠完整的热解决方案，包含加热/冷却基座/BSG整治线小型或大批量生产能力，通过高质量产品和生产工艺一致性，成为客户满意的生产单位。北京朗铭润德光电有限公司作为ECM公司E-Chucks静电夹持卡盘设备的代理，为中国的广大客户提供完善的技术支持和售后支持。

产品用途:静电夹持卡盘基于电容技术同时可以整合基片的冷却和加热。用于PVD，CVD, 干法刻蚀，离子植入等设备。

适用衬底材料:硅，三五族化合物半导体和绝缘体等。

适用衬底尺寸: *大450mm直径基片。

可根据客户要求定制。

合作客户部分名单:

Evatec、Lam、0xford、Sentech、Applied materia1s、A1cate1、Oerl1ikon、Acia system、SPTS、HMI、CAMECA、Po1yteknik、Samsung等