产品简介
GaAs/GaN用快速退火炉又名RTP设备,此设备为型号AS-One系列,分为可以处理4“基片的AS-ONE100以及处理6“基片的AS-ONE150,更小的基片可使用基片托。主要用于大学,研究实验室以及年产量高达10000晶圆的小规模生产。
详情介绍
AS-0NE100:530*800*1425mm