产品简介

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EPS-1000探针台
的手动探针台，有锁针设计防止回针，台面快速升降方便晶圆测试，适合科研及微电子器件的失效分析。

详细介绍

EPS-1000探针台

的手动探针台，有锁针设计防止回针，台面快速升降方便晶圆测试，适合科研及微电子器件的失效分析。

产品规格：
- 镀金真空样品吸盘：4", 6", 8"等；
- 样品尺寸：5x5mm ~ 4", 6", 8"等；
- 样品卡盘平整度：10um；
- 探针座精度：0.7um；
- 样品卡盘旋转(Phi)：360度；
- 探针台台面快速升降；
- 探针锁位设计，防止回针；
 

产品规格：
- 镀金真空样品吸盘：4", 6", 8"等；
- 样品尺寸：5x5mm ~ 4", 6", 8"等；
- 样品卡盘平整度：10um；
- 探针座精度：0.7um；
- 样品卡盘旋转(Phi)：360度；
- 探针台台面快速升降；
- 探针锁位设计，防止回针；
 
可选附件：
- 显微镜X/Y移动；
- CCD视频镜头；
- 加热台；
- 黑箱、屏蔽箱；
- 防振平台；
- 高倍显微镜 (2000X)；
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